ความแม่นยำสูงมาก ประสิทธิภาพที่ไม่ต้องบำรุงรักษา ความเร็วสูง มอเตอร์แรงบิด ตัวเข้ารหัส
PI ผู้นำระดับโลกด้านระบบควบคุมการเคลื่อนไหวที่แม่นยำและระบบการเคลื่อนที่ของลูกปืนลม นำเสนอแท่นหมุน A-688 ซึ่งเป็นแท่นหมุนด้วยมอเตอร์ที่ใช้ลูกปืนลมขั้นสูง ออกแบบมาเพื่อความแม่นยำระดับนาโนเมตร การเคลื่อนที่แบบไร้แรงเสียดทาน และความน่าเชื่อถือในระยะยาวในด้านมาตรวิทยา ออปติคัล แอปพลิเคชั่นโฟโตนิกส์ และเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการสูง
ออกแบบด้วยการออกแบบลูกปืนลมแบบไร้แรงเสียดทาน ระยะการหมุนของ A-688 ให้ความแม่นยำ ความเสถียร และความทนทานเป็นพิเศษ รูรับแสงโปร่งใสขนาดใหญ่ 260 มม. ช่วยให้ลำแสงออปติคัล สายเคเบิล หรือโหลดทางกลผ่านศูนย์กลางได้โดยตรง ทำให้เวทีนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกำหนดค่าระบบควบคุมลำแสงแบบอินเทอร์เฟอโรเมตริกและแม่นยำ การทำงานแบบไม่สัมผัสของ A-688 ต่างจากแท่นแบบดั้งเดิมที่มีตลับลูกปืนเชิงกล ขจัดการสึกหรอ การหลุดร่อน และการหล่อลื่น ทำให้มั่นใจได้ถึงการเคลื่อนไหวที่ราบรื่น ไร้อนุภาค แม้ในสภาพแวดล้อมในห้องสะอาดหรือสุญญากาศ
หัวใจของระดับแรงบิดคือมอเตอร์แรงบิดแบบขับเคลื่อนโดยตรงและไร้เหล็ก ซึ่งให้การหมุนที่นุ่มนวลเป็นพิเศษแบบไร้ฟัน พร้อมการเร่งความเร็วที่รวดเร็วและการควบคุมความเร็วที่ยอดเยี่ยม เมื่อใช้ร่วมกับข้อมูลป้อนกลับของตัวเข้ารหัสความละเอียดสูง ซึ่งมีให้เลือกทั้งแบบส่วนเพิ่มหรือแบบสัมบูรณ์ ระบบจะได้ความละเอียดเชิงมุมจนถึง 0.0015 µrad และรักษาข้อผิดพลาดของการสั่น ระยะพิทช์ และค่ารันเอาท์ที่เกือบเป็นศูนย์ การผสมผสานคุณสมบัติเหล่านี้ทำให้ผู้ใช้สามารถวางตำแหน่งเชิงมุมที่ทำซ้ำได้สูงและงานสแกนอย่างต่อเนื่องด้วยความแม่นยำระดับนาโนเรเดียน
คุณสมบัติและความสามารถที่สำคัญ
- ช่องเปิดขนาดใหญ่และโปร่งใส: Ø 260 มม. ช่วยให้โหลดทางแสงหรือทางกลที่สำคัญผ่านหรือรวมเข้ากับแกนหมุนได้
- ความละเอียดและความแม่นยำสูงมาก: ความละเอียดของเซ็นเซอร์มุมสูงถึง 0.0015 µrad (ตัวเข้ารหัสสัมบูรณ์)
- ไดนามิกสูง: ความเร็วเชิงมุมสูงสุดถึง 500 รอบต่อนาที
- ความตรง/ความเรียบสูงสุด 1 µm
- ประสิทธิภาพทางเรขาคณิตที่ยอดเยี่ยม:
- ข้อผิดพลาดในแนวรัศมี ≤ ±0.15 µm
- ข้อผิดพลาดตามแนวแกน ≤ ±0.175 µm
- ระลอกคลื่น (ข้อผิดพลาดในการเอียง) < 1 µrad
- มอเตอร์ขับเคลื่อนโดยตรงแรงบิดต่ำ: มอเตอร์ 3 เฟสที่ไม่ใช่เหล็กช่วยให้การเคลื่อนไหวราบรื่นโดยไม่ต้องเล่น
- ตัวเลือกตัวเข้ารหัส: ตัวแปรตัวเข้ารหัสแบบเพิ่ม (sin/cos) หรือแบบสัมบูรณ์ (BiSS-C) ช่วยให้สามารถป้อนกลับแบบลูปปิดได้อย่างแม่นยำและอ้างอิงได้ทันที
- การออกแบบลูกปืนลมไร้แรงเสียดทาน: เมื่อไม่มีการสัมผัสกันระหว่างพื้นผิว เวทีจึงทำงานโดยไม่มีการสึกหรอ การหล่อลื่น และการบำรุงรักษา ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่แทบไม่จำกัด
- การวางแนวและการประกอบที่ยืดหยุ่น: สามารถใช้โต๊ะในการวางแนวใดก็ได้ (แนวนอน แนวตั้ง กลับด้าน) และรองรับน้ำหนักและการติดตั้งที่หลากหลาย
- โหมดที่ปรับแต่งได้: รองรับทั้งโหมดการจัดทำดัชนีแบบจุดต่อจุดและโหมดการสแกนต่อเนื่องเพื่อตอบสนองความต้องการของแอปพลิเคชันที่แตกต่างกัน
การใช้งานและผลกระทบต่อตลาด
A-688 เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในระบบขั้นสูงที่ต้องการการหมุนที่แม่นยำเป็นพิเศษ ซึ่งรวมถึงแต่ไม่จำกัดเฉพาะ:
- การจัดตำแหน่งด้วยแสง ระบบบีมไลน์ อินเทอร์เฟอโรเมทรี และมาตรวิทยา
- การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ การพิมพ์หิน และการจัดตำแหน่งมาส์ก
- ระบบการสอบเทียบ การสแกน และการควบคุม
- เอกซเรย์และแพลตฟอร์มการถ่ายภาพ
- ห้องคลีนรูม ห้องสุญญากาศ หรือสภาพแวดล้อมที่ไวต่อการปนเปื้อน (เนื่องจากการเคลื่อนไหวที่ไร้การเสียดสี)
เนื่องจาก A-688 ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ (ด้วยลูกปืนลม) จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมในห้องสะอาดและการมองเห็น
ความพร้อมใช้งานและการสนับสนุน
A-688 จะมีจำหน่ายหลายรุ่น (เช่น A-688.A100 พร้อมตัวเข้ารหัสแบบเพิ่มหน่วย, A-688.B100 พร้อมตัวเข้ารหัสแบบสัมบูรณ์) เพื่อให้เหมาะกับความต้องการใช้งานที่หลากหลาย
ผลิตภัณฑ์จะมาพร้อมกับเอกสารประกอบ เอกสารข้อมูล โมเดล 3 มิติ และการสนับสนุนการบูรณาการ ลูกค้ายังสามารถปรึกษากับวิศวกร PI สำหรับการปรับเปลี่ยนแบบกำหนดเองหรือการกำหนดค่าแบบหลายแกนได้
อุตสาหกรรมที่ให้บริการ
การควบคุมตัวอย่าง การประกอบไมโครที่แม่นยำ และการวิจัยขั้นสูง การทดสอบและตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์และมาตรวิทยา ระบบอัตโนมัติที่แม่นยำ การประกอบอุปกรณ์ และการตัดเฉือนไมโครด้วยเลเซอร์ หยิบและวาง จัดตำแหน่งส่วนประกอบออปติคัล ไมโครเมคานิกส์ และโฟโตนิกส์ได้อย่างรวดเร็ว เทคโนโลยีชีวภาพ กล้องจุลทรรศน์ การผลิตเครื่องมือแพทย์
แหล่งที่มา:
พีไอ (ฟิสิก อินสทรูเมนต์) หจก