ละครรุ่นใหม่ 3D กำลังเข้าใกล้ความเป็นจริงเมื่อนักวิทยาศาสตร์ไปถึงกอง 120 ชั้นโดยใช้เทคนิคการประกอบขั้นสูง

Posted on

ลองนึกภาพว่าคุณกำลังพยายามสร้างหอคอยของวัสดุที่บางมากและแตกต่างกันเล็กน้อยซึ่งแต่ละแผ่นต้องการโค้งงอหรือบิดตัวเอง โดยพื้นฐานแล้วสิ่งที่นักวิทยาศาสตร์ประสบความสำเร็จที่ IMEC และ Gandnica University เมื่อพวกเขาเติบโต 120 ชั้นสลับกันของซิลิกอน (SI) และซิลิกอน-เยอรมนี (SIGE) บนขั้นตอนวาฟเฟิล 300 มม. คลิปใน DRAM สามมิติ เมื่อมองแวบแรกดูเหมือนว่าจะวางกระดาษ ในความเป็นจริงมันเป็นเหมือนการสร้างความสมดุลให้กับบ้านของการ์ดด้วยวัสดุที่ต้องการแยกตามธรรมชาติ

ความท้าทายเริ่มต้นด้วยบาร์ ผลึกซิลิกอนและซิลิกอน-เยอรมนีมีระยะห่างนิวเคลียร์ที่แตกต่างกันเล็กน้อยดังนั้นหลังจากวางเลเยอร์พวกเขาต้องการยืดหรือบีบอัดตามธรรมชาติ คิดเกี่ยวกับวิธีการพยายามวางสำรับไพ่ซึ่งการ์ดแต่ละใบแต่ละใบมีขนาดใหญ่กว่าใบแรกโดยไม่ต้องทำเท่ากันอย่างระมัดระวังบิดเบือนที่สแต็กและตูด ในหมวดหมู่เซมิคอนดักเตอร์ “ท็อปส์ซู” เหล่านี้จะปรากฏเป็นไม่ตรงกันข้อเสียเล็กน้อยที่สามารถทำลายประสิทธิภาพของระบบหน่วยความจำ

ภาพประกอบของการสลับซิลิกอน (SI) และซิลิกอน-เยอรมัน (SIGE) ก่อตัวเป็นกอง 120 ชั้นแสดงโครงสร้างหลายชั้นที่ใช้สำหรับการใช้งาน DRAM

ภาพประกอบของการสลับซิลิกอน (SI) และซิลิกอน-เยอรมัน (SIGE) ก่อตัวเป็นกอง 120 ชั้นแสดงโครงสร้างหลายชั้นที่ใช้สำหรับการใช้งาน DRAM (สินเชื่อรูปภาพ: BN Khan, JFM Van Hove, M. Meuris, วารสารฟิสิกส์ประยุกต์, สำนักพิมพ์ AIP, 2025. )

กระบวนการเองโดยใช้เทคนิคการฝัง epitaxial ขั้นสูงเป็นเหมือนการวาดภาพด้วยก๊าซ ซินและเยอรมนี-แกสที่มีซิลิคอนและเยอรมันแตกบนพื้นผิวของค่าธรรมเนียมทำให้ชั้นนาโนเมตรที่แม่นยำ มันเป็นกุญแจสำคัญในการควบคุมความหนาองค์ประกอบและความสม่ำเสมอของแต่ละชั้น แม้แต่การเบี่ยงเบนเล็กน้อยก็สามารถแพร่กระจายผ่านสแต็กและขยายข้อบกพร่อง

ดูแหล่งที่มา

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *